میکروسنسورها قطعات کوچکی هستند که خواص فیزیکی یا شیمیایی مثل دما، فشار و رطوبت را در مقیاس میکرو اندازه‌گیری می‌کنند. حساس، دقیق و کوچک‌اند و در صنایعی مثل بهداشت، خودرو، هوافضا و محیط زیست کاربرد دارند. اغلب با میکروالکترونیک و پردازش سیگنال ترکیب شده و برای داده‌های بلادرنگ، هوش مصنوعی و IoT مناسب‌اند.

ابزارها و پچ‌های پزشکی فناوری‌های نوآورانه‌ای برای مراقبت‌های بهداشتی، بیوتکنولوژی و تحقیقات‌اند. پچ‌های پزشکی، تکه‌ها یا فیلم‌هایی هستند که برای انتقال دارو یا پروتئین از طریق پوست یا بافت طراحی شده‌اند. این پچ‌ها آزادسازی کنترل‌شده دارو، بهبود انطباق بیمار و درمان هدفمند را فراهم می‌کنند و در دارورسانی پوستی، ترمیم زخم و مهندسی بافت کاربرد دارند.

تجهیزات میکروفبریکیشن برای تولید قطعات در مقیاس میکرو به‌کار می‌روند و شامل ابزارهای پیشرفته‌ای نظیر سیستم‌های فتولیتوگرافی برای انتقال الگو، تجهیزات لایه‌نشانی و ابزارهای اچینگ برای حذف لایه‌ها هستند. این دستگاه‌ها با دقت بالا در محیط‌های کلین‌روم عمل می‌کنند و نقش اساسی در ساخت میکروالکترونیک، حسگرها، سیستم‌های میکروالکترومکانیکی (MEMS) و سایر فناوری‌های نوین ایفا می‌نمایند.