دستگاه تبخیر حرارتی PVD
Thermal Evaporation System
از دستگاه تبخیر حرارتی برای لایه نشانی یکنواخت فلزات به صورت یکنواخت روی سطوح مختلف استفاده می شود.
تكنولوژي تبخير در خلا يكي از قديمترين تكنولوژي ها براي لايه نشاني فيلم نازك مي‌باشد بر پايه PVD يا همان روشهاي لايه نشاني فيزيكي است. اما تبخير حرارتي يا تبخير در خلاء هنوز هم كاربرد زيادي در آزمايشگاهها و صنايع لايه نشاني فلز و آلياژ هاي فلزي دارد. مراحل اساسي در اين فرايند عبارتند از : تبخير ماده اوليه توسط جوشاندن و يا تحريك منبع اصلي حرکت بخار از منبع به سمت زير لايه تغليط بخار بر روي سطح زيرلايه گشته و ايجاد فاز جامد بر روي آن.
