اسپاترینگ

RF-Sputtering

اسپاترینگ یکی از روش های لایه نشانی فیزیکی است که در آن از پلاسمای گازی برای لایه نشانی استفاده می شود.

يكي ديگر از سيستمهاي لايه نشاني فيزيكي سيستم اسپاترينگ است. مزيت اين سيستم نسبت به سيستم اشعه الكتروني اين است كه اين سيستم هم توانايي لايه نشاني لايه هاي فلزي را دارد (مثل طلا، پلاتين، آلومينيوم و..) و هم لايه هاي دي الكتريك و عايق (مثل نيتريد سيليكونSi3N4، دي اكسيد سيليكونSiO2 و ...). و لايه هاي اپتيكي در قطعات فوتونيكي (مثل MgO و MgF2 ) . لايه هاي دي الكتريك يه عنوان يكي از لايه ه اي مهم در فرآيند ساخت ادوات الكترونيك مثل لايه قرباني در ساختارشتاب سنج MEMS و يا لايه عايق الكتريكي و passivation در ترانزيستور ها و آشكار سازها كاربرد دارد. لايه هاي اپتيكي هم به عنوان لايه هاي شفاف عبوري و يا انعكاسي نور هدف (در طول موج ها مد نظر) در قطعات اپتو الكترونيكي و فوتونيكي كاربرد دارد.